Pirani-Sensoren werden "taub"
Verfasst: Do 16. Mär 2023, 14:01
Moin,
ich bin mal wieder in Vakuumgefilden unterwegs.
Diese Woche sind gleich zwei Pirani-Sensoren ausgefallen, und zwar in der Form, dass sie von Atmosphärendruck bis ca 10^-1 mbar noch messen und danach ziemlich abrupt auf diesem Wert hängen bleiben, auch wenn das Vakuum inzwischen bei 5*10^-3mbar angekommen ist. Das ist einmal ein 30 Jahre alter Edwards Sensor und einmal ein ganz neuer von Jevatec. Letzterer "klebt" bei etwa 8*10^-2 fest.
Mir kommen zwei Dinge in den Sinn: kurzzeitige Übertemperatur - zumindest der Moderne soll bis 80°C am Stutzen betriebsfähig sein, über 60 hatte ich nicht.
Eine zwei Option wäre noch mögliche Sublimation von Grafit - zumindest habe ich einen Schleier an den Rändern des Glaszylinders, der die Vakuumkammer darstellt, gesehen. Wie das über die Vakuumverrohrung bis in den Sensor kommen soll ist mir allerdings schleierhaft.
Ich habe jetzt ein paar alte Leybold Messröhren ausgegraben, mal schauen, ob ich eine davon gegen eins der noch unbelasteten Vakuum-Meter kalibriert bekomme...
ich bin mal wieder in Vakuumgefilden unterwegs.
Diese Woche sind gleich zwei Pirani-Sensoren ausgefallen, und zwar in der Form, dass sie von Atmosphärendruck bis ca 10^-1 mbar noch messen und danach ziemlich abrupt auf diesem Wert hängen bleiben, auch wenn das Vakuum inzwischen bei 5*10^-3mbar angekommen ist. Das ist einmal ein 30 Jahre alter Edwards Sensor und einmal ein ganz neuer von Jevatec. Letzterer "klebt" bei etwa 8*10^-2 fest.
Mir kommen zwei Dinge in den Sinn: kurzzeitige Übertemperatur - zumindest der Moderne soll bis 80°C am Stutzen betriebsfähig sein, über 60 hatte ich nicht.
Eine zwei Option wäre noch mögliche Sublimation von Grafit - zumindest habe ich einen Schleier an den Rändern des Glaszylinders, der die Vakuumkammer darstellt, gesehen. Wie das über die Vakuumverrohrung bis in den Sensor kommen soll ist mir allerdings schleierhaft.
Ich habe jetzt ein paar alte Leybold Messröhren ausgegraben, mal schauen, ob ich eine davon gegen eins der noch unbelasteten Vakuum-Meter kalibriert bekomme...